专业的讲使用滤光片的目的是消除或降低X射线管发射的原级X射线谱，尤其是靶材的特征X射线谱对待测元素的干扰，可改善峰背比，提高分析的灵敏度。能量色散X射线荧光分析仪有两种类型的滤光片：初级滤光片和次级滤光片。初级滤光片是将滤光片置于光管和样品间，其目的是为得到单色性更好的辐射和降低待分析元素谱感兴趣区内的由原级谱散射引起的背景。次级滤光片是将滤光片置于样品和探测器之间，主要是对试样中产生的多元素X射线荧光谱线进行能量选择，提高待测元素的测量精度。

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