窄带滤光片用高精度光学膜厚仪DW DM孙大雄菊池和夫蔡旭阳唐骐(新科隆株式会社， 东京14028540)李正中(台湾中央大学光电科学研究所， 台北320)摘要: 随着信息技术的发展对高密度波分复用 (DW DM ) 滤光片的需要越来越大。 而高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备 DW DM滤光片的关键。文中论述了所建立的制备用于 100GH z～ 50GH z DW DM滤光片的高精度高性能的 光学薄膜膜厚监控系统。 该系统的波长分辨力为 011nm ， 重复 性 精 度 为 ±0105nm 。信噪比与温度漂移特性分别为±0101% 和 0105% /h。还论述了该系统 的实际实验结果。关键词: 光学膜厚监控， DW DM滤光片。H i- prec is ion O p t ica l Th ickn e ss M on itor A pp l ied toM an ufa c ture of U ltraa rrow Ban d Pa ss F ilterS OND a iy uK I K U CH IK a z u oCA I X uy a gT A G Q i(Sh inc ro Co. ， L td. ， T o k yo 14028540)L E E C h en g ch u g( In st itu te o f O p t ica l Sc ience， a t ioa l C en t ra l U ive r sity，T a ibe i 320)A bstra c t: W ithth e rap id in c rea se in DW DM (D en se W ave len g th D iv isio M u lt ip lex in g) f ilte r dem an d， a h igh p rec isio an d h igh p e rfo rm an ce op t ica l m o ito r is a k ey com po en t to m o ito r in g th e op t ica l th ick e ss w h en depo sit in g th e DW DMf ilte r. A s a ta rge t fo r m an u fac2 tu re o f 100GH z an d even50GH z， th e h igh p rec isioan dh igh p e rfo rm an ce op t ica l m o ito rh ave b een deve lop ed.It show s th a t th e re so lu t io an d rep ea tab ility a re b e t te r th an 0. 1nm an d± 0.05nm ， re sp ec t ive ly， an dth e S/Nan dtem p e ra tu re d r if t a rele ss th an± 0.01%an d0.05% /h ， re sp ec t ive ly.T h ere su lt s o f exp e r im en t an d m ea su rem en t a rein ve st iga ted an d d is2cu ssed in th is a r t ic le.Key W ord s: O p t ica l T h ick e ss M o ito r， DW DMF ilte r.1引言近年以来， DW DM光通信系统中的波分复用器用窄带滤光片需求的出现， 对光学薄膜产·131·第 425 期孙大雄等: DW DM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪品提出了很高的要求， 从某种意义上对光学镀膜技术来说是一种严峻的挑战。要求镀膜技术人员在成膜设备、膜厚监控方式、薄膜材料、成膜手段、膜系设计上作深入的研究开发， 才有可能 实现。 而其中关键的技术是膜厚监控， 膜厚监控的好坏取决于光学膜厚仪的精度， 为此我们研制了用于镀制 50GH z、100GH z DW DM窄带滤光片的高精度光学膜厚仪 POM —W 1 (H i2p re2c isio O p t ica l T h ick e ss M o ito r) ， 下面我们将作一些简单的介绍。2DW DM窄带滤光片专用膜厚仪 POM —W 1211高精度光学膜厚仪 (POM —W 1) 的技术规格由于 D

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