在质量吸收系数的吸收限两侧，质量吸收系数差别很大。利用这一特点，在能量色散X射线荧光光谱仪中，可通过配置滤光片进行能量选择。其作用是改善激发源的谱线能谱成分，同时在进行多元素分析时，滤光片可用来抑制这些高含量组分的强X射线荧光，提高待测元素的测量精度。和波长色散x射线荧光谱仪不同，能量色散X射线荧光光谱仪有两种类型滤光片：初级滤光片和次级滤光片。

初级滤光片的选用

所谓初级滤光片是在将滤光片置于X射线管和样品之间，其目的是为得到单色性更好的辐射和降低待分析元素谱感兴趣区内的由原级谱散射引起的背景。虽然，使用X射纸管激发样品时，选用合适的X射线管高压也能使试样中待测元素得到有效的激发。但在许多情况下，选用适当的原级滤光片可获得更好的效果。用Si(Li)漂移半导体探测器的能量色散X射线荧光光谱仪测定水溶液中砷时，若用Ni滤光片，检测限从不用时的2ppm提高到0.9ppm。图5.4给出测定饮料中镉时，用锆和不用锆滤光片测定混有0.1%镉的定性图。从图5.4可知使用锆滤光片时，将RhKp康普顿散射线降低了许多，提高了镉的峰背比。

为了有效地提高周期表中Na-U诸元素的分析灵敏度，用Si(Li)漂移或Si-PIN半导体探测器的能量色散X射线荧光谱仪，通常有5～6种初级滤光片供选择。在进行试样分析时，通过计算机选用所需要的滤光片。如用Si-PIN探测器的spectro光谱仪有用五种滤光片和不用滤光片共六种情况可供选用。在测定乙酸溶液中万分之几的Mn.Co和Br时，分别选用两种条件(1)12.0kv和100uA时，选用0.05mmAl滤光片(2)20kv和30uA时，用0.2mmA1滤光片。在条件(1)中连续谱的最大强度处谱峰基本上未能滤去，Mn和Co的峰位于强的连续谱上方，而在条件(2)中，Mn.Co和Br均被激发，在Mn和Co的峰位处连续谱强度基本上滤净。

用封闭式正比计数管为探测器的谱仪，一般是专业用的仪器，即为测定特定试样中某些元素而专门设计的。因此，通常只选用一个原级滤光片。如测水泥及生料或类似样品的能量色散谱仪，因仅测定Na.Mg.AI.Si.S.Ca.Ti和Fe等元素，原级滤光片材料选用3um的锡，锡的L系线吸收限能量在3.928～4.464KeV之间，用4kV激发Na.Mg、Al.Si和S时，不仅可降低因Cu靶的连续谱散射所产生的背景，而且产生的SnLa可激发上述诸元素。同样，若只用于分析低含量硫，则选用Ti为滤光片，Ti不仅能将大于Ti吸收限能量的原级谱衰减，降低背景，而且用TIKa激发硫更有效。可见，选择原级滤光片是很重要的，并随所分析元素而定。

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