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2050年精密光学电子束蒸发光学涂布机【光学镀膜】

本公司生产的自动光学真空涂布机具有石英晶体膜厚自动控制和光学膜厚自动控制。 该装置使用E型电子蒸发源蒸发各种高熔点的金属和氧化物。 塑料芋头瓷基上涂有各种多层薄膜,如:红外膜、小宽带、透膜、冷光、CUT膜、偏振膜、电膜等。 适用于眼镜、光学透镜、精密光学元器件、激光和电子工业。 主要特点:1电子输出功率稳定的特殊结构设计有效地防止了二次电子火灾的产生和电子火灾。 2旋转使用磁流引入冬季长时间运行密封。 3型工件旋转座多重水冷重力导向设计运行平稳、可靠、径向和轴向跳动3~5mm。 4采用PLC触摸屏控制暗冬泵阀的水电互保护,可自动控制,包括真空系统,以及整个镀膜过程。 5安装采用四极质谱监测和漏电,真空密封,氦设备工艺稳定可靠。 6个所有零件采用国内知名的Sawer元器件,采用进口或合资企业生产Temenium设备24小时可靠稳定。 基本参数:1.立式前门结构不锈钢真空室Φ2050X1650mm2.极限真空.. 1/10/4Pa(空载清洁真空系统300°烘焙)。恢复真空时间:大气至4/10/3Pa≤15min。 4.大型抽油主泵DPM-28A扩散泵(22000L/s)配备了抗湍流装置.. 5.工件旋转:磁流体密封旋转装置旋转座多重水冷和重力导向设计运行平稳可靠。 6.工件烘焙:三点控制温度和高烘焙温度350°。 7.永磁E型电子功率10kW;可配置单或双多孔蚊子和环形Beag。 8.配备了美国Inficon生产的SQC310C或IC6石英晶体膜厚度控制器。 9.10英寸触摸屏和Omron(PLC)编程控制器。 自动和手动监测和控制设备真空系统蒸发源系统工件旋转系统的膜厚监测系统。 10.与B16cm离子源或深冷低温冷阱可供选择。

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