[ 蓝宝石外延片]

特点：
C向蓝宝石(Al2O3)单晶，即(0001)面，是半导体行业，特别是LED领域中应用最广泛的材料。单面抛光（single side polished）蓝宝石，亦称晶圆-wafer，是氮化镓(GaN)外延芯片的最佳匹配基片。
本公司提供性能优异的蓝宝石外延片。标准尺寸有：2 inch(直径50.8 mm)，4 inch(直径101.6 mm)，6 inch(直径152.4 mm) 外延片(wafer)。也可按照客户要求，切割成诸如：10*5*0.5mm，10*15*0.4mm，5*5*0.4mm小片，也可按照客户自身要求，满足私人定制。
表1： 典型的2、4、6寸蓝宝石外延片参数

材料 Material	高纯度单晶Al2O3
晶向 Orientation	C面（0001）±0.3°
对M轴偏离角度	0.20 ± 0.05°
对A轴偏离角度	0.0 ± 0.1°
直径 Dismeter	50.8±0.15mm 101.6±0.15mm 152.4±0.15mm
厚度 Thickness	330μm/430μm±25μm 620μm±25μm 750μm±25μm
总厚度偏差TTV	＜10μm
表面总平整度TIR	≦10μm
弯曲度   WARP	≦15μm
翘曲度     BOW	-10 ~ 0μm
定位面方向 Primary Flat Location	A面（11-20）
定位面偏离角度Flat Off-set Angle	0.0 ± 0.2°
定位边长Primary Flat Length	16±0.5mm (2英寸)
表面粗糙度Frontside Surface Roughness	RA≦3Å（即Ra≦0.3nm）
背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra)	Ra=0.5~1.0μm
包装    Package	洁净室内真空冲氮包装